光刻技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)者ASML與比利時(shí)imec微電子研究中心近日聯(lián)合宣布，雙方已簽署一項(xiàng)為期五年的全新戰(zhàn)略合作協(xié)議。此次合作旨在結(jié)合雙方在先進(jìn)半導(dǎo)體工藝及可持續(xù)發(fā)展領(lǐng)域的深厚知識(shí)與專業(yè)優(yōu)勢(shì)。

根據(jù)協(xié)議內(nèi)容，imec主導(dǎo)的后2nm制程節(jié)點(diǎn)SoC中試線NanoIC，將引入ASML的一系列尖端設(shè)備，其中就包括了High NA EUV光刻機(jī)。雙方的合作領(lǐng)域還將拓展至硅光子學(xué)、存儲(chǔ)技術(shù)以及先進(jìn)封裝技術(shù)。

ASML不僅在技術(shù)和設(shè)備方面提供支持，還將為imec在探索環(huán)境效益和社會(huì)效益方面的創(chuàng)新項(xiàng)目提供資金支持。這一舉措展現(xiàn)了ASML對(duì)社會(huì)責(zé)任和可持續(xù)發(fā)展的重視。

ASML的首席執(zhí)行官Christophe Fouquet對(duì)此表示：“這份協(xié)議標(biāo)志著ASML與imec長期合作關(guān)系的進(jìn)一步深化。它體現(xiàn)了我們共同致力于半導(dǎo)體行業(yè)解決方案開發(fā)的堅(jiān)定決心，同時(shí)也符合我們通過技術(shù)創(chuàng)新回饋社會(huì)的戰(zhàn)略愿景。”

imec的首席執(zhí)行官Luc Van den Hove同樣表達(dá)了對(duì)合作的積極態(tài)度：“我們非常高興能夠繼續(xù)與ASML保持這種獨(dú)特且持久的合作關(guān)系。三十多年來，我們一直在為行業(yè)提供前沿的圖案化解決方案。ASML全系列產(chǎn)品的加入，將極大地提升我們中試線的能力，使其更加成熟，為半導(dǎo)體生態(tài)系統(tǒng)提供應(yīng)對(duì)AI技術(shù)進(jìn)步挑戰(zhàn)的最先進(jìn)技術(shù)。”

Luc Van den Hove還強(qiáng)調(diào)：“imec高度重視可持續(xù)創(chuàng)新，將這一理念明確納入我們的合作伙伴關(guān)系中，無疑是對(duì)我們合作的一個(gè)完美補(bǔ)充。”